高分辨场发射扫描电子显微镜 日立 SU8020

发布时间:2018-05-30 15:49来源:admin 0 点击收藏

技术参数


分辨率:
1.0nm (15 kV); 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式);2.0nm (1 kV, WD = 1.5mm, 普通模式
放大倍数:30倍-800,000倍 ;    电子枪:冷阴极场发射电子源 ;     加速电压:0.5-30kV (0.1KV/步,可变,普通模式) 
样品台: X: 0-50mm Y: 0-50mm, Z:1.5-30mm, T: -5-70°,R:360°, 样品尺寸最大直径:100mm(标准) 
信号选择:二次电子模式和背散射模式,X射线信号,辅助信号


应用范围

            


    SU8010
拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面,使它能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。 采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图像质量,尤其是将低加速电压下的图像质量提高到了新的水平;新型透镜系统,提供了高分辨模式、高束流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式,使以往无法实现的工作得以轻松成,同时配备有高性能的HORIBA EX-350,可同时进行微区、亚微区成分定性和定量以及元素分布分析。

    利用它可进行:(1)形貌分析,通过形貌像可以对样品的形貌、粒径、分散性进行表征,可用于金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观 察,同时还可对材料断口和失效进行分析(2)微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成。


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